Magnetfeld-Kompensationssystem MR-3
3-achsiges System zur Verringerung von Magnetfeldstörungen am Elektronenmikroskop (REM und TEM) und für magnetfeldempfindliche Anwendungen wie Elektronen- und Ionen-Strahlexperimente, Nanotechnik, biomagnetische Untersuchungen etc. Hohe Zuverlässigkeit durch robustes Analogdesign, keine Programmierung, keine Abstürze. Mehr als 1600 MR-3 sind weltweit im Einsatz.
Das Magnetfeld wird mit einem rauscharmen 3-achsigen Fluxgate-Sensor gemessen. Das Gerät beinhaltet die Regelelektronik und Leistungsverstärker zum direkten Anschluss von Kompensationsspulen. Quasistatische Störungen verursacht durch Bahnen, Fahrzeuge und Aufzüge werden genauso wirkungsvoll reduziert wie netzfrequente Störungen von Stromleitungen.
(Kompensations-Spulenrahmen für Raster-Elektronenmikroskop)
Die Kompensationsspulen können einfach aus Kabelschleifen angefertigt werden, die in den Kanten des Labors verlegt werden. Wir bieten auch Komplettlösungen an inklusive Installation von Kompensationsspulen als Wandspulen oder integriert in einen freitragenden Aluminiumrahmen.
- 3-achsige Kompensation von Magnetfeldstörungen
- Frequenzbereich DC bis 1 kHz (Version FAST MR-3 bis 10 kHz)
- Fluxgate-Magnetfeldsensor mit Sub-Nanotesla-Auflösung
- simultane Kompensation von quasistatischen (DC) und AC-Störungen
- typ. 40 dB Magnetfeld-Dämpfung bei 50/60 Hz
- typ. 20 dB Magnetfeld-Dämpfung bei 250/300 Hz
- Anzeige der Messwerte und Alarmfunktion
(Bildverbesserung beim Elektronenmikroskop)
Vergleichstabelle
| MR-3 | FAST MR-3 | TWIN MR-3 | FAST TWIN MR-3 | |
| Anwendungen | Standardsystem für REM | Standardsystem für Waferfabriken | System für TEMund High-EndAnwendungen | System für TEM in Waferfabriken und High-EndAnwendungen |
| Spezifikationen | ||||
| Anzahl der Triaxialsensoren | 1 | 2 | 2 | 3 |
| Bandbreite (AC+DC) | DC bis 1kHz | DC bis 10kHz | DC bis 1kHz | DC bis 10kHz |
| Mischer-Elektronikmodul für bessere Dämpfung (Virtueller Sensor für den Elektronen-/Ionenstrahl) | Nein | Nein | Ja | Ja |
| Rauschen | ||||
| 0,1 bis 1 kHz | < 0,3 nT RMS | < 0,3 nT RMS | < 0,2 nT RMS | < 0,2 nT RMS |
| 0,1 bis 10 kHz | < 0,6 nT RMS | < 0,5 nT RMS | ||
| Feldreduktionsfaktoren | ||||
| nahe DC (DC inkrementell bis 10 Hz)* | 500 | 1000 | 500 | 1000 |
| AC Feld bei 50 Hz* | 100 | 1000 | 100 | 1000 |
| AC Feld bei 250 Hz* | 10 | 600 | 10 | 600 |
| AC Feld bei 9 kHz* | 20 | 20 |
*) Typischerweise
Datenblätter zum Herunterladen: 
Datenblatt MR-3 Datenblatt FAST MR-3 Datenblatt TWIN MR-3
