FAST AC Magnetic Field Sensor
Anwendungsgebiete
- Standortinspektion vor der Installation von Elektronenmikroskopen (SEM, SDB, TEM) oder Elektronenstrahlgeräten
- Messung des hochfrequenten magnetischen Wechselfeldes, das von Wafertransportsystemen (OHT) in Halbleiterfabriken erzeugt wird
- Überwachung magnetischer Streufelder in der Nähe von Stromkabeln, Transformatoren usw.
- Restfeldmessung (Wirksamkeit der Abschirmung)
- Messung der von Schaltnetzteilen erzeugten EMI
Spezifikationen
| Magnetfeldsensor | Induktionsspule mit Ferritkern |
| Messbereich | > 5.000 nTPP |
| Analogausgang | 1 V/μT, BNC-Anschluss |
| Bandbreite | 25 Hz bis 300 kHz (−3 dB) |
| Rauschen | < 0.7 nT RMS, < 3 nT Spitze-Spitze (25 Hz to 300 kHz) |
| Genauigkeit | ± 2 % (100 Hz to 100 kHz) ± 10 % (50 Hz to 200 kHz) |
| Stromversorgung | Alkalie-Batterie 9 V, PP3 |
| Stromverbrauch | Typ. 5 mA |
| Abmessungen der Induktionsspule | Durchmesser 10 mm × 40 mm |
| Messrichtung | axial |
| Länge des Sensorkabels | 1,5 m |
| Dimensionen des Verstärkers | 130 mm x 60 mm x 35 mm |
| Gewicht | 0.25 kg |
Datenblatt zum Herunterladen: 
Datenblatt FAST AC Sensor
